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AOI 外观尺寸测量
AOI 外观尺寸测量
应用描述
采用线阵16K相机、背光加拱形光方式，对芯片表面进行拍摄，然后软件找直线、几何关系测量尺寸。视野大小：60 mm 。精度要求: 0.005 mm 。
实物图
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